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甄耀言研發(fā)的大理石XY直線電機采用進口交叉滾柱導軌的選用,保 證了設備運行尤其是小步距運動時優(yōu)秀的響應以及線性精度;直驅加全閉環(huán)機構又進一步保證了整套系 統(tǒng)的重復性;一體化整體結構件加工,既讓平臺擁有了非常優(yōu)秀的高度控制,同時精度及穩(wěn)定性要穩(wěn)穩(wěn) 優(yōu)于傳統(tǒng)的十字交叉堆疊平臺。
龍門式三軸直線電機為我司近期推出的高性能一體式系統(tǒng),整機采用了高剛性的花崗巖作為底座
采用直線電機 具有精度高,負載大、速度快等優(yōu)點 帶配重平衡和導軌剎車
高精度XY軸顯微鏡掃描平臺
大中空XY軸直線電機位移臺
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